原子力显微镜探针是AFM实验的核心配件。主要由如图所示三部分组成，芯片、悬臂梁和其末端的针尖。 AFM探针的相关参数主要包括以下几个： 1 探针的材料。AFM探针一般由硅（Si）或者（Si3N4）制成。由于硅材料相对坚硬，因此适合于制作相对短小、振动频率高、弹性系数比较大的探针。而氮化硅材料相对柔软，因此更适合于制作相对长、振动频率低、弹性系数较小的探针。 2 悬臂梁背板的反光涂层。悬臂梁没有针尖的一侧称为背板，是激光照射的位置。为了增加其反光性，通常会在其背板上镀上一层金、铝或者铜等的金属层。另外由于裸硅在红外及近红外波段具有一定的透光性，其上下表面反射的激光会有干涉，因此没有反光镀层的悬臂梁除了激光信号弱以外，还会在采集力曲线时产生波浪形状的基线。 用于磁驱动模式的探针涂层为磁性材料。 3 悬臂梁的形状和个数。悬臂梁的形状一般为三角形（Triangular or V）和矩形。又称三角梁和一字梁。其中三角梁可以更好地控制法向方向的形变，而且工艺上也更容易制造出指定弹性系数的悬臂。而一字梁力学模型更为简单，同时容易扭转，因此更适合于测量摩擦力等相互作用力。 4 悬臂梁的尺寸。典型悬臂梁的长度在几十微米至几百微米之间，宽度一般为几十微米，厚度一般为几微米。悬臂梁的尺寸直接决定了悬臂梁共振频率的